企業(yè)簡(jiǎn)介常州瑞擇微電子科技有限公司(REC)成立于2008年,主要研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售光掩模工藝設(shè)備,是江蘇省高新技術(shù)企業(yè)。REC擁有完整的自動(dòng)化設(shè)備研發(fā)和加工能力,設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)包括液路工藝、機(jī)械、電氣、自動(dòng)化和控制軟件等設(shè)計(jì)人員。公司加工車(chē)間配置有多臺(tái)普通和數(shù)字機(jī)械加工設(shè)備,基本滿(mǎn)足公司部件加工需求。此外,公司還搭建有10萬(wàn)級(jí)潔凈廠(chǎng)房,配備了18兆歐純水系統(tǒng),用于公司設(shè)備的組裝調(diào)試和潔凈部件的生產(chǎn)加工。2008年底,由REC自主研發(fā)的“130納米級(jí)光掩模清洗設(shè)備”,打破了國(guó)外該領(lǐng)域的壟斷,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,各項(xiàng)檢測(cè)指標(biāo)均已達(dá)到或超過(guò)國(guó)際領(lǐng)先水平,該設(shè)備被評(píng)為“江蘇省首臺(tái)(套)重大裝備產(chǎn)品”。2013年10月,由REC承擔(dān)的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)(02專(zhuān)項(xiàng))所研發(fā)生產(chǎn)的“90納米光掩模清洗設(shè)備”成功進(jìn)入終端客戶(hù)生產(chǎn)線(xiàn)。公司發(fā)展至今,已研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售多臺(tái)光掩模濕法工藝設(shè)備,分別應(yīng)用于中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司、無(wú)錫華潤(rùn)微電子有限公司、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、深圳清溢光電股份有限公司等國(guó)內(nèi)重要集成電路制造企事業(yè)的生產(chǎn)線(xiàn),并受到業(yè)內(nèi)一致好評(píng)。此外,REC還成功研發(fā)了CO2發(fā)泡機(jī)、全氟泵、在線(xiàn)紅外加熱器等部件,廣泛應(yīng)用于硅晶圓、LED、MEMS、光伏、平板顯示等行業(yè)。REC在自主研發(fā)的過(guò)程中,已獲得自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)33項(xiàng),先后承擔(dān)了部、省、市、區(qū)各級(jí)的科技研發(fā)項(xiàng)目,并與中國(guó)科學(xué)院微電子研究所、無(wú)錫華潤(rùn)微電子掩模工廠(chǎng)、中芯國(guó)際、韓國(guó)海力士、以色列CI-SEMI、芬蘭Picosun等多家國(guó)內(nèi)外企事業(yè)單位合作,共同研究開(kāi)發(fā)光掩模清洗新工藝設(shè)備以及微納加工工藝設(shè)備。REC希望通過(guò)與客戶(hù)的緊密合作及技術(shù)創(chuàng)新,根據(jù)客戶(hù)實(shí)際需求,結(jié)合自身優(yōu)勢(shì),在相關(guān)領(lǐng)域取得更大的發(fā)展,大幅度提高設(shè)備的性?xún)r(jià)比,成為客戶(hù)發(fā)展的堅(jiān)實(shí)后盾,為我國(guó)蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體事業(yè)爭(zhēng)光添彩。