瀏陽泰科天潤半導體技術有限公司成立于2019年12月5日,注冊資本41000萬元。控股母公司為泰科天潤半導體科技(北京)有限公司,是國內(nèi)首家專注于從事寬禁帶半導體材料碳化硅(SiC)功率芯片制造及相應電源產(chǎn)品解決方案的領軍企業(yè)。
2020年,瀏陽泰科天潤年產(chǎn)60000片6英寸碳化硅晶圓的功率芯片生產(chǎn)線凈化車間及配套工程竣工(主要包括黃光車間、凈化車間、測試檢驗、產(chǎn)成品出庫車間及關鍵動力配套設施建設),主要生產(chǎn)設備的導入、安裝和調試完成90%。2021 年上半年,進行設備調試和工藝驗證,下半年,試生產(chǎn)驗證通過后進行正式投產(chǎn)和運營管理。產(chǎn)線建成投產(chǎn)后,可以提供品類豐富的碳化硅功率器件產(chǎn)品百余款以及采用碳化硅功率器件的電源產(chǎn)品。各類型碳化硅器件包括SBD/PIN二極管和MOSFET/GTO/JEET晶體管器件,設計線寬水平為0.35μm,在傳統(tǒng)硅基功率器件晶圓制造工藝(清洗、氧化、刻蝕、涂膠顯影、背金)的基礎上,適應碳化硅材料的特性重新定義新制程工藝,同時結合碳化硅專有的高溫處理制程,比如高溫離子注入、高溫氧化、高溫退火、碳膜濺射等,整合碳化硅特有的晶圓制造生產(chǎn)整線工藝。產(chǎn)品在新能源汽車、充電樁、5G信息化、軌道交通、船舶航空、光伏風電、不間斷電源、家電工控等行業(yè)有廣闊的應用前景。