瀏陽泰科天潤半導體技術有限公司成立于2019年12月5日,注冊資本41000萬元。控股母公司為泰科天潤半導體科技(北京)有限公司,是國內首家專注于從事寬禁帶半導體材料碳化硅(SiC)功率芯片制造及相應電源產品解決方案的領軍企業(yè)。
2020年,瀏陽泰科天潤年產60000片6英寸碳化硅晶圓的功率芯片生產線凈化車間及配套工程竣工(主要包括黃光車間、凈化車間、測試檢驗、產成品出庫車間及關鍵動力配套設施建設),主要生產設備的導入、安裝和調試完成90%。2021 年上半年,進行設備調試和工藝驗證,下半年,試生產驗證通過后進行正式投產和運營管理。產線建成投產后,可以提供品類豐富的碳化硅功率器件產品百余款以及采用碳化硅功率器件的電源產品。各類型碳化硅器件包括SBD/PIN二極管和MOSFET/GTO/JEET晶體管器件,設計線寬水平為0.35μm,在傳統硅基功率器件晶圓制造工藝(清洗、氧化、刻蝕、涂膠顯影、背金)的基礎上,適應碳化硅材料的特性重新定義新制程工藝,同時結合碳化硅專有的高溫處理制程,比如高溫離子注入、高溫氧化、高溫退火、碳膜濺射等,整合碳化硅特有的晶圓制造生產整線工藝。產品在新能源汽車、充電樁、5G信息化、軌道交通、船舶航空、光伏風電、不間斷電源、家電工控等行業(yè)有廣闊的應用前景。