崗位職責(zé):
1. 保障電子束光刻系統(tǒng)相關(guān)工藝的穩(wěn)定性;
2. 負(fù)責(zé)電子束光刻系統(tǒng)相關(guān)工藝的優(yōu)化與開發(fā);
3. 電子束光刻機(jī)設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)和方案驗(yàn)證。
1.熟悉半導(dǎo)體工藝流程,了解工藝評(píng)估流程,DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì),工藝開發(fā);
2.熟悉電子束光刻工藝及,電子束光刻機(jī)及周邊設(shè)備;
3.金屬及非金屬掩模版制作;
4.熟悉電子束光刻膠特性;
5.相關(guān)專業(yè)本科以上學(xué)歷,3年以上相關(guān)工作經(jīng)驗(yàn)。
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