1、監(jiān)控光刻相關(guān)工藝線上產(chǎn)品流片過程中監(jiān)測(cè)項(xiàng)目及spec;
2、Review光刻相關(guān)工藝測(cè)試參數(shù),對(duì)超出spec的產(chǎn)品做異常處理及預(yù)防;
3、嚴(yán)格按照SOP對(duì)產(chǎn)線出現(xiàn)的工藝問題做出處理;
4、解決在光刻工藝轉(zhuǎn)移過程中出現(xiàn)的異常狀況。并積極配合相關(guān)部門需求,制定并協(xié)助其執(zhí)行實(shí)驗(yàn)方案;
5、參與主導(dǎo)光刻相關(guān)工藝新耗材及2nd source耗材評(píng)估驗(yàn)證工作;
6、配合PIE/TD人員,參與新產(chǎn)品工藝研發(fā)和光刻相關(guān)工藝技術(shù)轉(zhuǎn)移。對(duì)研發(fā)和工藝轉(zhuǎn)移過程中光刻工藝出現(xiàn)的問題及時(shí)給出解決方案;
7、Review光刻相關(guān)工藝測(cè)試參數(shù),對(duì)超出spec的產(chǎn)品做異常處理及采取有效預(yù)防措施;
8、與設(shè)備工程師及操作員合作解決光刻相關(guān)工藝生產(chǎn)中遇到的問題。